Universiteit Leiden

nl en

Promotie

Reconstruction Methods for Combined HAADF-STEM and EDS Tomography

Datum
maandag 10 december 2018
Tijd
Locatie
Academiegebouw
Rapenburg 73
2311 GJ Leiden

Promotor

  • Prof.dr. K.J. Batenburg

Tomografie is een niet-invasieve techniek waarmee beelden gemaakt kunnen worden van doorsnedes van een object. Deze doorsneden wordenberekend aan de hand van projectiebeelden die onder verschillende hoeken worden opgenomen. De techniek staat ook wel bekend als computertomegrafie (CT). Het onderzoek in dit proefschrift richt zich op de tomografische reconstructie op basis van projectiebeelden die afkomstig zijn van twee verschillende EM-modaliteiten. De eerste is de high angle annulal dark field scanning transmission spectroscopy (HAADF-STEM) en de tweede de energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS). Het komt met een aantal technieken die een aanzienlijke verbetering kunnen geven ten opzichte van de gangbare reconstructiemethoden. De numerieke methoden kunnen worden toegepaast op de HAADF- en EDS-data die met gangbare technieken zijn opgenomen. Het is daarnaast mogelijk om op basis van enkele technieken de benodigde opnametijd van EDS-data te verminderen. Een mogelijke toepassing van gecombineerde data van HAADF en EDS is het in beeld brengen van structuren in driedimensionale halfgeleidemateralen. Dit maakt het onder meer mogelijk fabricagefouten te vinden. Dit kan de verdere ontwikkeling van geavanceerde ge├»ntegreerde schakelingen vooruit helpen.

Bijwonen

Promoties zijn vrij toegankelijk, u hoeft zich niet aan te melden.

Proefschriften

Proefschriften van Leidse promovendi zijn na de promotie digitaal beschikbaar via het Leids Repositorium. De proefschriften op deze site zijn vrij toegankelijk. Alleen in sommige gevallen rust er een tijdelijk embargo op een proefschrift en wordt het proefschrift pas later volledig beschikbaar gesteld.

Persvragen

Maarten Muns, adviseur wetenschapscommunicatie Universiteit Leiden
m.a.muns@bb.leidenuniv.nl
071 527 3282

Deze website maakt gebruik van cookies. Meer informatie